Титан нитриді және титан оксидінің жұқа пленкаларын реактивті магнетрондық түзілу әдісімен алу

Қазіргі кезде титан оксиді және титан нитридінен жасалатын жұқа пленкаларды зерттеу жұмыстары қарқынды дамуда. Бұл қосылыстар өзіндік ерекшеліктер мен керемет қасиеттерге ие. Титан нитриді мен титан оксидінің жұқа пленкаларын ғарыш техникасы, микроэлектроника, медицина, оптоэлектроника салаларында қолданады.